一、溫、濕度及塵埃濃度管理，若有設備移動或施工時須做局部測量。

二、過濾網之管理：定期檢查及更換。

三、空氣調節器管理，定期檢查隔板接縫及內部污染狀況。冷熱盤管是否有腐蝕現象。

四、送風機之管理，定期檢查送風機運轉狀況。

五、風管及出風口之管理，檢查現管是否有腐蝕、污染、塵埃堆積或保溫脫落等。

六、測試及量測儀器管理，定期校正及保養。

七、室內壓力管理，連續監視室內壓力記錄，以維持正壓為基準。

八、冷凍主機、泵浦、鍋爐及冷卻水塔之管理，定期檢查保養及記錄運轉狀況及水質變化分析，以調整加藥量等。

九、十萬級無塵車間停止運轉再開機要點管理，啟動后立即進行微塵粒子之測試，須無塵車間恢復穩定正常時再開始作業。